技术编号:12060501
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及精密测量技术领域,特别是涉及一种基于合成干涉信号偏振态检测技术的纳米测量系统。背景技术纳米位移测量技术是高档数控机床、极大规模集成电路、大面积扫描探针显微镜等超精密高端制造装备的核心技术和关键功能部件,是实现高端制造、半导体、生物医学等领域纳米制造的保证。目前主要的纳米测量方法有扫描隧道显微镜、光栅传感器和激光干涉仪等,这几种方法都能达到亚纳米级分辨率。扫描隧道显微镜测量范围仅为微米量程且存在米溯源问题,光栅传感器光学元件安放困难。激光干涉仪可实现大量程纳米测量、抗干扰能力强,是目前广...
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