技术编号：12060553
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种基于热波成像技术的膜层厚度检测系统及方法，特别是采用脉冲式均匀热激励，并采用逐行扫描热成像技术实现对膜层厚度的检测，属红外无损检测技术领域。背景技术随着科学技术的快速发展，涂层与薄膜的应用越来越广泛，工业界对膜层厚度的测量提出了更高的要求，比如要求在线、非接触、实时检测等等。目前对膜层厚度的检测所使用的常规方法主要包括涡流、超声、X射线、探针法和光学法等，但这些方法不能完全满足现代工业对膜厚测量的要求，如涡流法对衬底材料性质有要求，必须导电；超声法需要耦合剂，并且不能有效测量薄膜层...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。