技术编号:12060767
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种测定激光的强度的激光用功率传感器。背景技术在二氧化碳激光器等近红外线激光装置中,为了对激光输出进行控制,使用对实际的激光输出进行测定的功率传感器的情况多。例如,热电动势式的功率传感器接收从谐振器的后镜提取出的几瓦特~几十瓦特的监视用激光(监视光)并将该监视用激光转换为电压信号,由此测定激光输出。这种功率传感器具有由导热性高的材料形成的基板(热盘(thermaldisk))以及配置于该基板直接接收监视光的部分(受光部)的周边的热电偶,构成为根据该受光部的温度与该受光部的周边温度之间的...
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