技术编号：12061600
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明一种微机械硅谐振梁加速度计，涉及通过检测梁的机械谐振频率的变化，来测量加速度的谐振式加速度计。背景技术硅微谐振式传感器，是基于微电子机械技术(MEMS)工艺的基础发展起来的，具有体积小，重量轻，功耗低，测量精度高，稳定性好，易批量生产，直接输出准数字量，易与计算机通讯等优点，已成为微传感器的一个重要发展方向。谐振式传感器的核心是谐振器(包括梁、膜、环等机械结构)，谐振器在由激振和拾振单元组成的正反馈闭环系统控制下，以其自身的固有谐振频率振动。待测物理量(力，压力，加速度等)可通过某种转换机...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。