技术编号：12061667
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及半导体测量装置技术领域，具体涉及一种具有温度控制的微区电阻率测量装置。背景技术在各种器件设计、生产中，需要了解和掌握硅片及外延片微区电阻率分布情况。因此，微区电阻率的测试成为芯片加工之中的重要工序，为了更好地保证芯片的生产质量，保证设计的完美性和成功率，应开展各种芯片的微区电阻率分布的测试研究，以更好地服务于大规模集成电路的生产，保证最终产品的性能。近年来有许多测微区电阻率的仪器，大多数采用四探针原理，比如参考文献[1]中，但是四探针法存在以下几种弊端：(1)耗时，测量点数直接制约测量...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。