技术编号：12062196
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种利用高纯气体混合搅拌的微米亚微米抛光液精选方法，特别适用于古典法的超光滑表面抛光用的微米纳米级氧化铈、氧化铁、氧化铝抛光液的筛选。属于光学冷加工领域。背景技术超光滑表面在现代光学及光电子学科领域的作用愈来愈重要，相应的超光滑加工技术也成为现代超精密加工技术的重要组成部分。研磨、抛光是最常用的光学表面制造技术。高精密光学表面的形成是通过一系列研磨、抛光步骤达到的，每一步都是使用比上一步更细的磨料。超光滑表面的微观起伏为几个原子的尺寸，因此实现超光滑表面加工的关键在于实现表层材料原子量...
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