技术编号：12062279
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及软物质的微纳米加工技术，具体涉及一种利用交联控制转移印刷法进行PDMS表面图案化的工艺方法。背景技术聚二甲基硅氧烷(PDMS)是一种最广泛使用的硅基有机聚合物材料。PDMS作为一种有机硅橡胶，在户外绝缘材料、填缝剂、润滑剂、人体整形植入等方面有着很多用途，更为重要的是其在微纳制造中有着独特的应用前景。在微纳尺度上，PDMS厚/薄膜广泛应用于软刻蚀技术、微/纳流体控制、微/纳电子机械系统、生物传感等诸多领域。这些应用都依赖于PDMS的表面微结构化。然而目前PDMS弹性体的微纳米加工技术却...
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