涂布方法及涂布装置与流程技术资料下载

技术编号:12069821

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本发明涉及涂布方法及涂布装置,特别是涉及将液体状材料涂布于对象物的涂布方法及涂布装置。背景技术若将使用前端直径为数十μm的涂布针来涂布如墨水那样的液体状材料的技术、使用点直径为数μm-数十μm的激光加工图案的技术与微米等级的精密定位技术组合,则能制成精细的图案或准确地对图案的规定位置进行加工,因此,以往,上述技术用来进行平板显示器的修正作业或太阳能电池的划线作业等(例如参照日本专利特开2007-268354号公报(专利文献1)、日本专利特开2009-122259号公报(专利文献2)以及日本专利特...
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