技术编号:12070215
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种制造作为β-二酮配位于铱的铱配合物的三(β-二酮)合铱的方法。详细而言,涉及一种可以使广泛种类的β-二酮配位于铱而合成铱配合物的方法。背景技术β-二酮配位于铱而成的三(β-二酮)合铱已知为在CVD法(化学气相蒸镀法)、ALD法(原子层蒸镀法)之类的化学蒸镀法中所使用的原料化合物(前体)。例如,在专利文献1、2中记载有一种化学蒸镀用的原料化合物,其用于形成由作为铱配合物的三(5-甲基-2,4-己二酮)合铱或三(2,4-辛二酮)合铱构成的铱薄膜。另外,近年来,已经研究多啮配体以环状配位...
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