技术编号:12084432
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种清洁装置,尤其涉及一种传送轮清洁装置。背景技术剥离技术作为一种工艺技术,一般分为三个步骤:首先,在基板的衬底上涂光刻胶,通过曝光和显影制成图形;其次,在覆盖光刻胶的基板上淀积金属膜;最后,使用不侵蚀金属膜的溶剂除去光刻胶。这样,可以实现光刻胶与基板的剥离。通常,在除去基板上的光刻胶时,基板需要在传送轮的带动下依次进入剥离区和水洗区,在剥离区,使用剥离液喷淋基板,以除去基板上的光刻胶,在水洗区,使用纯净水对基板上残留的光刻胶或者其他物质进行清洗,最终得到除去光刻胶的基板。但是,在...
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