技术编号：12086450
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种有减少的应力灵敏度的MEMS(微电机系统)传感器器件和对应制造工艺。背景技术在集成半导体器件中并且具体地在MEMS器件中，感觉到机械应力和应变的问题，这可能导致电参数(例如检测灵敏度)的不希望的修改和漂移。MEMS器件通常地包括一个或者多个半导体材料管芯，其中提供对应微机械检测结构和可能对应ASIC(专用集成电路)，后者例如包括用于采集和预处理检测到的电学量(例如指示检测的压力的电容变化)的对应接口用于生成(在来自MEMS器件的输出供应的用于后续处理操作的)电输出信号。MEMS器件...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。