技术编号:12086496
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于多晶硅生产技术领域,具体涉及一种纯化有含磷杂质的高纯氢或高纯氯硅烷的方法。背景技术高纯的晶体硅是重要的太阳能光伏材料,高纯氢气及高纯氯硅烷是生产高纯度多晶硅的关键原料,去除高纯氢气及高纯氯硅烷中含磷杂质是决定生产出的多晶硅品质的关键因素。对于改良西门子法而言,就是对三氯氢硅通过精馏进行反复地脱轻和脱重处理进行纯化。国内大多数企业都用此法来生产多晶硅,这种方法操作简单,适合大规模工业化生产能够得到杂质质量分数为10-9~10-11的电子级多晶硅。精馏法缺点是精馏塔级数多(一般是5塔甚至更...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。