技术编号:12096156
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种金刚石研磨块,特别是涉及一种表面具有槽型结构的金刚石微粉研磨块及加工方法。背景技术随着信息技术与光电技术的发展,对半导体材料、LED基片材料的需求越来越大。而研磨作为半导体材料和LED基片材料加工中晶片表面高效平坦化的方法,具有不可替代的作用。金刚石磨粒具有硬度高、强度高、热稳定性好、化学稳定性好等优良性能。金刚石钎焊工具由于金属结合剂与基体、金属结合剂与金刚石磨料存在化学融合,使钎料层对金刚石的把持力大,磨粒出刃高度大,在加工过程中,磨粒不易脱落,因此,金刚石钎焊研磨工具成为加工...
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