一种表面具有槽型结构的金刚石微粉研磨块及加工方法与流程技术资料下载

技术编号:12096156

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本发明涉及一种金刚石研磨块,特别是涉及一种表面具有槽型结构的金刚石微粉研磨块及加工方法。背景技术随着信息技术与光电技术的发展,对半导体材料、LED基片材料的需求越来越大。而研磨作为半导体材料和LED基片材料加工中晶片表面高效平坦化的方法,具有不可替代的作用。金刚石磨粒具有硬度高、强度高、热稳定性好、化学稳定性好等优良性能。金刚石钎焊工具由于金属结合剂与基体、金属结合剂与金刚石磨料存在化学融合,使钎料层对金刚石的把持力大,磨粒出刃高度大,在加工过程中,磨粒不易脱落,因此,金刚石钎焊研磨工具成为加工...
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