技术编号:12099905
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种钽酸锂晶体的制造方法,该钽酸锂晶体使用于弹性表面声波滤波器件等晶圆上,利用光刻工艺制作金属叉指电极图案而处理移动电话高频模拟讯号信号的应用中。背景技术钽酸锂(LT)晶体是熔点约为1650℃、居里温度约为600~610℃的铁电体。而且,LT基板的主要用途是作为移动电话的高频信号处理用的表面声波(SAW)滤波器材料,但是LT基板于SAW滤波器器件制作中出现两个主要问题,将导致器件成品率降低、增加生产成本。第一、因LT基板高的光透射率,使得在SAW器件制造工序之一的光刻工序中光在基板背面...
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