技术编号:12109594
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种镁铝合金冷却板。背景技术在用于工业产品的制造过程中,有时需要使用冷却发热物体的冷却板。在用于制造半导体、平板显示器等的溅射系统中,称为“背板”的冷却板已经用于消散在溅射期间产生在目标材料上的热量。溅射期间的散热特性非常重要,以至于可以左右产品的性能。因此,需要开发可以有效散发在溅射期间产生的热的冷却板。发明内容根据上述提出的技术问题,而提供一种镁铝合金冷却板。本发明采用的技术手段如下:一种镁铝合金冷却板,其特征在于,包括上板和下板,所述上板包括位于所述上板内表面两端的上板冷却液进口...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。