技术编号:12113621
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型属于精密测量传感器技术领域,具体涉及一种双列式时栅直线位移传感器。背景技术直线位移测量是最基本的几何量测量,大量存在于以制造业为代表的工业实践和科学实践中。精密直线位移测量主要采用直线位移传感器,如光栅、磁栅、容栅等,此类传感器都是通过对空间均分的栅线进行计数得到位移量,其共同特点是利用高密度、超精密空间栅线来达到微小位移的分辨力要求。为了再进一步提高传感器的测量分辨力与测量精度,除了依靠先进的刻划工艺提高划线密度之外,通常需要依靠复杂的电子细分技术对传感器输出的原始信号进行细分处理,...
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