技术编号：12113897
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。一种基于sigma-delta闭环控制的惯性传感器系统技术领域本发明属于微机电惯性传感器闭环力反馈控制系统技术领域，具体涉及一种基于sigma-delta闭环控制的惯性传感器系统。背景技术随着微机械加工技术的快速发展，微机电传感器系统具有微型化、集成化、智能化、成本低、性能高、可以大批量生产等优点，已经广泛应用于能源环境、生物医学、航空航天、消费电子等诸多领域。其中高精度惯性传感器被广泛运用于惯性导航，空间探测，石油探勘，地震预测等领域。高精度微机电惯性传感器往往采用闭环力反馈控制系统，来提高系...
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