一种灵敏度高的双导油管差压传感器芯片管座的制作方法与工艺技术资料下载

技术编号:12114445

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本实用新型涉及芯片管座技术领域,具体涉及一种灵敏度高的双导油管差压传感器芯片管座。背景技术目前,公知的差压传感器芯片管座,分为单根导油管管座和无导油管管座。单根导油管管座在后道封装时需要再增配一个导油管部件,以实现差压传感器膜盒正负腔的硅油充灌;而无导油管管座只能依赖于差压传感器基座增开双导油孔来实现差压传感器膜盒正负腔的硅油充灌。这些方法不仅结构复杂,成本高,而且后期装配处理工艺较为繁。在申请号为201310298146.4的发明专利中公开了一种双导油管差压传感器芯片管座,如图1所示,能同时拥...
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