技术编号：12116353
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及曝光机领域，特别是一种单台面直写式曝光机。背景技术目前单台面直写光刻装置的能量标定系统在布局上受限于整机设备不能太宽，水平横向行程窄，工艺过程要求过于精密，无法低成本做到大行程等，必须使用两个能量监测模块，左边模块标定左半部分镜头，右边模块标定右半部分镜头，这样来完成整个曝光镜头的能量标定，这样在能量标定过程中，水平横向轴就需要来回重复移动，既浪费了时间，又造成标定流程相对复杂，同时浪费了一套标定模块，增加了成本。发明内容针对上述问题，本发明提供了一种单台面直写式曝光机，该曝光机采用一...
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