技术编号:12116755
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本公开涉及激光位移传感技术领域,尤其涉及一种氦氖激光器纳米测尺系统。背景技术中国专利“位移自传感氦氖激光器系统及其实现方法”(ZL99103514.3)综合利用激光频率分裂、激光模竞争、激光功率调谐等多种激光物理现象,将一只普通氦氖激光器改造成一种不利用干涉现象但具有自标定功能又相对简单的位移传感器。该方法具有λ/8的位移测量分辨率(对于波长为632.8nm的氦氖激光器,λ/8为79nm)。这一发明的主体结构是一只普通的半外腔氦氖激光器,其两个反射腔镜之一作为动静固连在一直线导轨(测杆)上以便可...
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