技术编号：12120958
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及平板显示制造领域，特别涉及一种掩膜板及其制造方法。背景技术在平板显示器件的制造过程中，光刻工艺是最重要的工艺步骤之一。光刻工艺是将掩膜板上的图形转移到玻璃基板或柔性基板上的过程。其中，掩膜板(也称为光罩)是一种对于曝光光线具有透光性的透光基板，其上具有对于曝光光线具有遮光性的至少一个图形(即掩膜图形)。在实际生产过程中发现，掩膜板由于自身重量会产生弯曲，导致曝光出的图形尺寸的均一度较差。请参考图1，其为采用现有技术的掩膜板进行曝光的结构示意图。如图1所示，现有的掩膜板100包括一掩膜面...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。