技术编号：12120962
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种用于掩膜版或显示基板的方法，特别地，涉及一种用于制造或使用掩膜版或显示基板的设备的方法和系统。背景技术精细金属掩膜版(FineMetalMask，简称FMM)是液晶显示器制造工艺中常用的关键部件，例如，其经常用于蒸镀工艺中。在蒸镀工艺中，FMM与基板(glass)之间需要准确对位，否则会影响待制造的图案(pattern)的位置精度，因此，需要确保FMM在例如张网机或拉伸设备上的位置精度，这样才能确保FMM与基板准备对位。在现有技术中，存在多种定位方法来确保FMM的定位精度或FMM与...
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