压印装置以及物品制造方法与流程技术资料下载

技术编号:12120971

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本发明涉及一种压印装置以及物品制造方法。背景技术存在对基板上的压印材料进行成型以在基板上形成图案的压印技术。这种压印技术的一个示例包括光固化法。使用该方法的压印装置使模具与基板上的压印材料接触,以便将压印材料填充入模具。通过光的照射使压印材料固化,然后使模具从固化后的压印材料脱模,从而在基板上形成图案。在此,如果异物沉积在基板或模具上,则可能在图案上发生缺陷或者可能造成对模具的损坏。日本特开2014-56854号公报公开了一种通过用气帘围绕(密封)压印区域来减少压印区域内的异物的压印装置。然而,...
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