技术编号：12121063
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及制造增强的硅基微机械钟表部件的方法。本发明还涉及增强的硅基微机械钟表部件，特别能够通过这种方法获得的那些。发明背景硅是越来越多地用于制造微机械钟表部件的材料，特别是保持与它们被机械加工在其上的硅基基底连接的部件。相对于用作制造微机械钟表部件，如齿轮或擒纵机构组件的标准的金属或合金，硅具有许多优点。其是非常轻质的极硬材料，这因此使其可具有大幅降低的惯性并因此改进效率。硅同样可以制造复杂或整体部件。为了改进或改变硅的性质，已知在硅上沉积合适材料的层。因此，为了改进其摩擦学性质，在硅上沉积金...
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