技术编号:12121501
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种静电感应晶体管,特别是一种基于沟道隐埋层的电流可控型静电感应晶体管。背景技术静电感应晶体管(SIT)是一种能够在较高频率和大功率条件下工作的静电感应器件,在电子开关等领域有着广泛的应用前景。SIT的微尺寸效应十分显著而且结构异常灵敏,其电流-电压特性(I-V特性)和电性能参数对结构、材料以及工艺等制造参数的关系十分复杂,相互关联。在现有的研究中,对于SIT输出电流等输出特性的控制主要通过改变沟道长度与沟道宽度的比值、沟道掺杂浓度等来实现。但是改变某一结构参数会影响到其他诸多电学...
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