具有均匀图案的磁性随机存取存储器(MRAM)布局的制作方法与工艺技术资料下载

技术编号:12128460

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具有均匀图案的磁性随机存取存储器(MRAM)布局分案申请的相关信息本案是分案申请。该分案的母案是申请日为2011年10月10日、申请号为201180053077.X、发明名称为“具有均匀图案的磁性随机存取存储器(MRAM)布局”的发明专利申请案。技术领域本发明大体上涉及磁性随机存取存储器(MRAM)。更具体地说,本发明涉及用于制造MRAM装置的方法和设备。背景技术不像常规随机存取存储器(RAM)芯片技术,在磁性RAM(MRAM)中,数据不是作为电荷而存储,而是改为通过存储元件的磁极化存储。存储元...
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