技术编号：12129086
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及半导体工艺技术领域，特别涉及一种调控金属氧化物薄膜晶体管反相器阈值电压的方法。背景技术由于RFID(电子标签)的非接触性、各项同性等特点，它可通过无线电讯号识别特定目标并读写相关数据，使用电子标签可以极大地提高物流分拣的效率。目前传统的硅基电子标签，在快递公司为提升市场竞争力而降低生产成本的背景下，价格难以降低到快递公司可以接受的范围之内。而无机薄膜晶体管中的金属氧化物薄膜晶体管恰恰可以满足低价产业化的要求，它具有诸多优点：工艺温度低(可低至室温)、可以做在柔性基底、材料成本低、可回收...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。