一种具有石墨烯的功率器件的制作方法与工艺技术资料下载

技术编号:12129195

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本发明涉及半导体新材料的应用领域,具体涉及一种具有石墨烯散热结构的IGBT功率器件。背景技术电子产品、机械、电力、通信、化工等诸多领域,在产品的加工、生产的过程中,以及使用的过程中,都会产生数量不同的热量。而且,所产生的热量如果不能得到有效散发的话,则会对产品的加工及使用,均有可能造成影响。目前广泛使用有各种各样的散热材料。不同类型的散热材料,会具有不同的性能。比如说,金属材料的导热性能良好,特别是其中的一部分金属材料,如石墨烯、铝、银等,其导热性能尤其良好。比如,石墨烯质的散热器、铝质的散热器...
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