技术编号:12129236
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及显示技术领域,尤其涉及一种薄膜晶体管阵列基板及其制作方法。背景技术薄膜晶体管(ThinFilmTransistor,简称TFT)是目前液晶显示装置(LiquidCrystalDisplay,简称LCD)和有源矩阵驱动式有机电致发光显示装置(ActiveMatrix/OrganicLight-EmittingDiode,简称AMOLED)中的主要驱动元件,直接关系到高性能平板显示装置的发展方向。制备薄膜晶体管的有源层的材料有多种,低温多晶硅(LowTemperaturePoly-sili...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。