微米阵列LED制备方法与流程技术资料下载

技术编号:12129245

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本发明涉及到一种微米阵列LED及其设计和制备方法,属于半导体照明领域。背景技术发光二极管(light-emittingdiodes,LED)较传统光源具有低能耗,长寿命,高效率等优点,从而广泛应用于固态照明、指示类照明、低功耗显示器等多个领域。然而在LED芯片中,由晶格失配引起的较大应力以及GaN界面与空气界面发生的全内反射严重制约了其光电性能的进一步提高。为克服上述困难,人们设计了很多新颖的LED结构。例如:光子晶体、表面粗化等方法以提高LED的光提取效率,但这些方法工艺较为复杂且综合效果较差...
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