技术编号:12129655
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及半导体器件领域,特别是一种光电探测器,能完成可见光到红外光波段的探测。背景技术在光纤通信系统中,光电探测器是必不可少的关键器件。0.8μm~0.9μm波段的短距离、高密度光纤通信系统、数据传输系统常采用Si单晶衬底或GaAs基PIN光电探测器、雪崩光电探测器与硅前置放大器混合集成的光接收器探测。而1.06μm~1.55μm波段光纤通信网则通常采用Ge单晶衬底或InP基PIN光电探测器、雪崩光电探测器与硅前置放大器混合集成的光接收器探测。硅光电二极管作为其中一个重要分支,因其光谱响应良好...
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