技术编号：12129771
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种半导体元件及其制作方法，且特别是涉及一种电磁阻抗感测元件及其制作方法。背景技术由于消费电子产品如手机、电子罗盘的出现，再加上马达、制动器等传统产品，使电磁阻抗感测装置的需求日益增加。目前电磁阻抗感测元件大多以陶瓷材基材为基底，通过多层图案化导电层、图案化绝缘层与磁性导线的交错堆叠，将磁性导线固定于陶瓷基材上，并以磁性导线为中心，形成包围磁性导线的感测线圈(inductioncoil)电路。然而，在形成感测线圈电路时，每个图案化导电层和图案化绝缘层的形成步骤都必须与磁性导线进行对准，...
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