技术编号:12130775
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及电机驱动控制领域,特别是涉及光刻机系统、精密机床以及高端物理实验装置等高精度高频响场合,具体是一种双绕组音圈电机及其复合驱动控制方法。背景技术音圈电机(VoiceCoilMotor,VCM)是基于洛伦兹力原理设计而成的一种电机,它能将电信号直接转化成直线位移而不需要任何中间转换机构。它具有结构简单、体积小、重量轻、惯性小、比推力大等优点,在高精度、高频激励、快速和高加速度的定位系统中,在光学和测量系统、光学装配以及航空航天方面也有广泛的应用。音圈电机驱动控制有线性模拟控制以及开关控制两...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。