技术编号：12132586
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种压电材料制成的振动台，尤其是涉及一种在线微型振动台。背景技术大型振动台的研究和应用已经持续了很久了，但是随着在20世纪70年代末MEMS技术在美国和日本的商业化浪潮的兴起，作为应用于MEMS传感器或微位移输出装置的微型振动台越来越占有重要的地位。而微型振动台是属于MEMS技术中的一个单元，主要包括微马达、微谐振器等，用来产生力并实现位移。MEMS的起源可追溯到20世纪50年代，人们发现半导体Si的压阻效应后开始了对Si传感器的研究工作。到1987年，冯龙生等人研制出可动的硅微型静电...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。