技术编号：12134888
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及半导体设备技术领域，更具体地，涉及一种具有加热装置的工艺管排气管路及控制方法。背景技术在半导体低压化学气相淀积设备中，工艺排气的尾气通过工艺管的排气管路排向设备外部的气体回收装置。保证工艺管排气管路的通畅，对于低压化学气相淀积工艺的质量至关重要。通常，从工艺管排出的工艺尾气仍具有较高的温度。当工艺排气的尾气通过工艺管的排气管路时，将受到外部环境对其产生的冷却作用。特别是当工艺管排气管路的温度低于一定值(例如150℃左右，该温度仅针对于某一种工艺排气的尾气)时，将会在工艺管排气管路的管壁...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。
该类技术注重原理思路，无完整电路图，适合研究学习。