原盘的制造方法、转印物以及复制原盘与流程技术资料下载

技术编号:12138919

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本发明涉及原盘的制造方法、转印物以及复制原盘。背景技术近年来,作为微细加工技术之一,正在进行纳米压印技术的开发,所述纳米压印技术为,通过将在表面形成有微细图案的平板状或圆柱形的原盘向树脂片等按压,从而将原盘上的微细图案转印至树脂片等上的技术。例如,下述专利文献1中公开了如下技术:通过利用激光进行的光刻,在圆柱形原盘的外周面形成凹凸结构(所谓的蛾眼结构),所述凹凸结构具有属于可见光波段的波长以下的凹凸周期。另外,专利文献1中公开了使用纳米压印技术将形成于圆柱形原盘的外周面的蛾眼结构转印至树脂片上的...
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