技术编号：12145465
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明实施例涉及刷子、背面处理组件和用于清洗衬底的方法。背景技术本发明大体涉及到刷子，并且具体地涉及到用于背面处理(BST)的刷子。背面处理通常是在下一个扫描的模块工艺之前的准备衬底的背面的模块工艺。一般来说，刷子用来摩擦和清洗衬底背面的以去除意外地粘结衬底背面上的颗粒。发明内容根据本发明的一个实施例，提供了一种用于背面处理(BST)的刷子，所述刷子包括：基座部分；以及刷部分，连接至所述基座部分，所述刷部分具有设置在远离所述基座部分的表面上的多个槽，其中，所述槽的至少一个具有至少部分地位于所述表...
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