技术编号：12159787
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本公开内容涉及关于在电感耦合等离子体(ICP)处理室中修复介电窗的发明。背景技术半导体技术提出了许多的挑战，并且改善仍然是必要的。发明内容本发明公开的各种实施方式，包括一种在等离子体处理室中使用的具有多个电引线的静电屏。提供多个瓣状件组，每一个瓣状件组包括基本平的结构，其中每个瓣状件组电连接到所述多个电引线中的至少一个电引线，并且其中每个瓣状件组与任何其他瓣状件组绝缘，其中所述多个瓣状件组形成围绕垂直轴的径向对称。每个基本平的结构包括导电环的一部分和多个导电瓣状件，每个导电瓣状件连接到所述导电环...
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