技术编号:12159919
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种基板移送系统。背景技术半导体或者平板显示装置的制造工艺包括彼此不同的多个单位工序,其中各个单位工序通常在彼此不同的空间内进行。因此,在利用基板制造半导体或者显示装置的情况下,基板被移动至彼此隔离的各个空间而进行单位工序,此时,需要一种用于移动基板的移送装置。在移送基板时,需要利用专门的基板搬运用盒,将基板和基板搬运用盒移动至各个单位工序。据此,基板移送装置需要一起移送基板和搬运用盒,从而存在以下缺点:基板移送装置所移送的重量大幅增加,从而移送速度降低,且电力消耗增加。发明内容基于上...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。