技术编号：12160227
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于微电子器件制备领域，具体涉及一种轨道开关及其制备方法与应用。背景技术传统的开关控制着宏观电路的开关状态，在我们的日常生活中随处可见。随着开关的日益小型化和多功能化，开关的概念在微电子领域被大大延伸了：数百纳米大小的p-n结构成了信息处理和逻辑电路的基石；分子开关则可以在分子尺度的器件实现整流、放大和存储等数字电路的基本功能。然而，半导体工业对于器件小型化的迫切需求仍然在继续，尤其是众多原子尺度导电现象的涌现(如单层石墨烯和LaAlO3/SrTiO3的界面)，要求实现对器件进行原子甚至亚...
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