技术编号：12161874
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及微纳超精密加工技术领域，具体涉及一种在线抛光微细工具的装置。背景技术科技日新月异，微型智能化的产品在军工与民用方面的需求与日俱增，巨大的市场发展潜力促使人们对微细加工工艺进行了广泛的探索与研究。由传统机械加工工艺发展而来的微细车铣削加工已无法满足加工需求，人们已开始利用电、磁、声、光等各种能量场对材料进行有效的加工，比如目前应用广泛的微细电火花加工、微细电化学加工、微细超声加工、微细激光加工。微细工具的制作是实施微细电火花加工、微细电化学加工与微细超声加工的基础。目前适合微细工具在...
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