技术编号:12168526
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及蓝宝石衬底加工技术领域,具体为一种LED蓝宝石衬底的研磨装置。背景技术LED照明产业技术发展的基石是衬底材料,目前能用于LED照明生产的衬底主要是蓝宝石衬底,通常,GaN基材料和器件的外延层主要生长在蓝宝石衬底上,蓝宝石衬底有许多优点,首先蓝宝石衬底的生产技术成熟,器件质量较好,其次,蓝宝石稳定性很好,能够运用在高温生长过程中,最后蓝宝石机械强度高易于处理和清洗,因此,大多数工艺一般都以蓝宝石作为衬底。目前市场上对蓝宝石的需求快速增长,蓝宝石在加工过程中需要对其进行精密研磨,由于蓝...
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