技术编号：12168650
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明的一个方式涉及一种成膜装置。另外，本发明例如涉及一种氧化物、晶体管、半导体装置及它们的制造方法。另外，本发明例如涉及一种氧化物、显示装置、发光装置、照明装置、蓄电装置、存储装置、摄像装置、处理器、电子设备。另外，本发明涉及一种氧化物、显示装置、液晶显示装置、发光装置、存储装置、电子设备的制造方法。此外，本发明涉及一种半导体装置、显示装置、液晶显示装置、发光装置、存储装置、电子设备的驱动方法。注意，本发明的一个方式不局限于上述技术领域。本说明书等所公开的发明的一个方式的技术领域涉及一种物体、...
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