技术编号：12173156
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本申请涉及一种基板测试技术领域，尤其涉及一种测试基板翘曲的方法及装置。背景技术在薄膜基板工艺中基板成膜后，薄膜基板的翘曲成为影响薄膜基板质量的一大因素。薄膜基板翘曲，会导致当光波入射到薄膜基板上的薄膜上时产生发射光束的波前畸变，更为甚者，薄膜应力可能会导致薄膜性能恶化甚至导致薄膜龟裂和剥落。显示、半导体等行业对于行业中使用的玻璃板、强化玻璃等为代表的基板成膜后表面形状翘曲的品质要求逐渐变得严格是不争的事实。目前基板翘曲测试多为静止、离线测试，鲜有在线测试，从而不利于提高薄膜基板品质监控效率。发明...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。