单电桥磁场传感器的制作方法与工艺技术资料下载

技术编号:12174646

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本发明涉及一种测量磁场的仪器,尤指一种单电桥磁场传感器。背景技术磁场传感器可测定空间中的磁场向量,但指出磁场的方向需要在同一个位置测定三个互相正交的磁场分量。虽然目前已存在多种向量磁场传感器技术,但各种装置的磁场强度测定范围不相同,例如霍耳传感器适合测定10μT至1T的磁场,而磁阻式传感器可测定1mT至0.1μT的磁场,故不同磁场范围需要不同类型的向量传感器。此外,目前的向量传感器设计其三个分量传感器各自独立且位置不同,再加上各分量传感器分别为一电桥单元所构成,因此,三个分量传感器的配置使得整个...
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