技术编号:12179735
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型是一种连续制备二维纳米薄膜的装置,属于制备二维纳米薄膜领域。背景技术目前,化学气相沉积法以及碳偏析法是大面积制备二维纳米薄膜如石墨烯薄膜的技术方法,采用这两种方法制备二维纳米薄膜的设备基本上都是石英管高温炉。基于石英管的高温炉仅具备在已有金属催化层上合成二维纳米薄膜的单一功能,即不能先后连续对衬底材料的表面进行处理,在衬底上制备合成二维纳米薄膜所需的催化层和之后的二维纳米薄膜的合成。并且,采用石英管式炉合成的二维纳米薄膜如石墨烯的电子传输性能与机械剥离法制备的具有完美晶体结构的石墨烯的...
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