技术编号:12181668
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及石英玻璃制备领域,特别是涉及一种制备石英玻璃的烧结装置及系统。背景技术石英玻璃是具有良好性能,如耐高温、膨胀系数低、耐热震性、化学稳定性高和电绝缘性能好等优点,它是由二氧化硅作为主要组成的特种工业技术玻璃,按纯度分为高纯、普通和掺杂三类。目前,石英玻璃的制备工艺主要分为直接法制备工艺和间接法制备工艺,在直接法制备工艺中,石英玻璃用水晶、硅石、含硅化合物为原料,经高温熔化或化学气相沉积而成,熔制方法有电熔法、气炼法、化学气相沉积CVD和等离子化学气相沉积PCVD等。在间接法制备工艺中...
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