技术编号:12183689
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型总体来说涉及一种加热器装置,尤其涉及一种用于直拉单晶炉的石墨加热器。背景技术直拉单晶制造法是把原料多硅晶块放入石英坩埚中,在单晶炉中加热熔化,再将晶种(籽晶)浸入熔液中。在合适的温度下,熔液中的硅原子会顺着晶种的硅原子排列结构在固液交界面上形成规则的结晶,成为单晶体。把晶种微微的旋转向上提升,熔液中的硅原子会在前面形成的单晶体上继续结晶,并延续其规则的原子排列结构。若整个结晶环境稳定,就可以周而复始的形成结晶,最后形成一根圆柱形的原子排列整齐的硅单晶晶体,即硅单晶棒。直拉法制备单晶硅时...
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