技术编号:12198392
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及麦克风技术领域,特别是一种MEMS麦克风振膜及MEMS麦克风。背景技术MEMS麦克风是采用微机电系统(Micro-Electro-MechanicalSystem,MEMS),与传统驻极体电容式麦克风(ECM)相比,具有更好的声学性能、更高的信噪比、更好的一致性及更低的功耗。MEMS麦克风已经广泛应用在智能手机、笔记本电脑及平板电脑等领域,以提供更高的语音质量。振膜作为MEMS麦克风的重要部件,其性能直接影响MEMS麦克风的拾音效果。现有技术常用的振膜在其边缘处形成包薄膜板结构,通...
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