陀螺传感器及使用了该陀螺传感器的电子设备的制作方法与工艺技术资料下载

技术编号:12200726

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本发明涉及一种陀螺传感器及使用了该陀螺传感器的电子设备,尤其涉及一种防止驱动系统的损坏和粘着的陀螺传感器及使用了该陀螺传感器的电子设备。背景技术一直以来,为了检测数码照相机、摄像机、移动电话、汽车导航系统等电子设备的角速度,以便实施姿态控制等,而将陀螺传感器搭载于这些电子设备中。MEMS(MicroElectroMechanicalSystem,微型机电系统)静电电容型的陀螺传感器具有驱动系统和检测系统,在以一定的振动频率振动着的驱动系统及与之连动的检测系统上被施加有角速度时,通过将该检测系统中...
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